下载一种提纯电子气体的方法的技术资料

文档序号:40335169

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本发明属于有机气体纯化技术领域,具体涉及一种提纯电子气体的方法。本发明提供的提纯电子气体的方法,包括以下步骤:利用改性吸附剂对电子气体进行吸附,得到纯化的电子气体;改性吸附剂包括改性炭材料或改性分子筛;改性炭材料按照方法1或方法2进行改性,...
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