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一种光学薄膜色散的原位监控系统技术方案
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文档序号:40334611
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本申请提供一种光学薄膜色散的原位监控系统,涉及光学薄膜制备技术领域。所述光学薄膜色散的原位监控系统包括光源、光纤耦合光学器件、偏振控制器、保偏光纤耦合器、单模光纤、反射镜和超快光谱仪,所述光源发出的光线通过所述保偏光纤耦合器后分成两路光,第...
该专利属于中山吉联光电科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中山吉联光电科技有限公司授权不得商用。
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