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一种基于大数据的半导体厂良率预测与提升的方法，对收集半导体厂中的WAT数据和CP数据的不平衡性做出预处理，同时对高维数据进行了降维处理，增强了模型的鲁棒性和可解释性，并采用了机器学习模型将大数据同晶圆良率进行关联，分析出导致良率的下降的测试...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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