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从样本高速移除材料，所述光束定位器用于沿各种圆形（５０）和螺旋形（７０，９０，１１０）激光工具图案引导激光束轴。材料移除的优选方法需要促成光束轴和样本之间的相对移动，以进入段加速度并沿着进入轨迹（１８，５２）引导光束轴到所述样本内的进入位置...
该专利属于电子科学工业公司所有，仅供学习研究参考，未经过电子科学工业公司授权不得商用。

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