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本发明提供了一种用于清洗抛光后TFT基板的浸泡装置，包括架体、架体一侧设置的移动平台、以及架体另一侧设置的浸泡槽；所述移动平台上设有可拆卸的TFT基板承载架，所述架体上对应移动平台和浸泡槽上方的位置设有用于抓取TFT基板承载架的抓取机构；所...
该专利属于天津美泰真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过天津美泰真空技术有限公司授权不得商用。

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