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本发明涉及氮化硅性能测试技术领域,具体为一种氮化硅性能测试设备;包括工作台,工作台上端靠近后侧一体成型有竖板;固定限位夹持机构,固定安装在工作台上端左侧且位于竖板前方位置,用于对氮化硅管的内外夹持限位;移动限位夹持机构,滑动设置在工作台上端...该专利属于山东中临半导体新材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过山东中临半导体新材料有限公司授权不得商用。
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本发明涉及氮化硅性能测试技术领域,具体为一种氮化硅性能测试设备;包括工作台,工作台上端靠近后侧一体成型有竖板;固定限位夹持机构,固定安装在工作台上端左侧且位于竖板前方位置,用于对氮化硅管的内外夹持限位;移动限位夹持机构,滑动设置在工作台上端...