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本发明涉及晶圆检测技术领域，公开了一种基于深度学习的晶圆表面检测方法、装置、设备和介质，该方法包括：获取与待检测晶圆对应的灰度图像；通过预设粗检模型对灰度图像进行初步检测，得到初步检测结果；当初步检测结果表征待检测晶圆需进行精检时，通过预设...
该专利属于深圳市壹倍科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市壹倍科技有限公司授权不得商用。

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