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本发明公开了一种应用于CP测试的晶圆检测探针台，其包括机架与安装在机架上的大理石基座；大理石基座上安装有四轴运动机构，四轴运动机构的末端安装有晶圆载盘；四轴运动机构依次包括X轴平移座、Y轴平移座、Z轴平移座以及旋转台，四者中，后者通过驱动机...
该专利属于迈科微纳半导体技术（昆山）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过迈科微纳半导体技术（昆山）有限公司授权不得商用。

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