下载半导体制程用电子级化学品清洗桶全自动清洗系统的技术资料

文档序号:40314854

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种半导体制程用电子级化学品清洗桶全自动清洗系统,其清洗区内设置有清洗桶固定支架和瓶盖清洗盒,操作区设有定位机构和拆盖锁盖机构,链板传送带用于将需清洗的桶送入设备内以及将清洗干净的桶运送出,定位机构用于将送进设备内部的清洗桶抱紧以...
该专利属于冠礼控制科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过冠礼控制科技(上海)有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。