下载一种提晶炉锅邦拆卸搬运夹具的技术资料

文档序号:40308001

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本技术涉及一种提晶炉锅邦拆卸搬运夹具,属于单晶硅生产技术领域。主要包括机架、支撑杆、转轴、杠杆、夹紧机构,所述的支撑杆安装在机架两侧,转轴通过轴承座安装在支撑杆顶端,杠杆垂直于转轴轴线通过弧形限位块安装在转轴上,用于固定坩埚的夹紧机构通过链...
该专利属于云南宇泽半导体有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过云南宇泽半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。