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离子源(3)具备：放电室(36)，其生成离子；气体配管(24、25)，其向放电室(36)供给试样气体；以及引出孔(37)，其从放电室(36)引出离子，排列配置有至少两个以上的放电室(36)。由此，提供比以往提高了装置的运转率和维护性的圆形加...
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