下载半导体结构的形成方法的技术资料

文档序号:40303653

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一种半导体结构的形成方法,方法包括:提供基底,基底包括第一器件区和第二器件区,沿基底表面的法线方向,第一器件区和第二器件区的基底顶部凸立有沟道凸起部,基底的顶部形成有覆盖沟道凸起部部分顶部和部分侧壁的栅介质层、以及覆盖栅介质层的第一功函数层...
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