下载往复式氢气压缩机机封气排放回收利用系统的技术资料

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本技术公开了一种往复式氢气压缩机机封气排放回收利用系统,涉及多晶硅生产技术领域,主要目的是减少机封气相互窜流的现象,同时降低机封废气的处理量,降低生产成本。本技术的主要技术方案为:往复式氢气压缩机机封气排放回收利用系统,该系统包括:一段填料...
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