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本发明提供一种基板收纳容器和具有其的基板检查装置。所述基板收纳容器和具有其的基板检查装置能够提高基板检查工序的生产率。本发明的基板收纳容器（Ｍ）和具有其的基板检查装置，将收纳在上下方向上层叠的多块基板（Ｓ）的盒垂直装入壳体，分别具有与检查对...
该专利属于ＡＪＵ高技术公司所有，仅供学习研究参考，未经过ＡＪＵ高技术公司授权不得商用。

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