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本发明涉及一种含微凸起结构MEMS器件的压膜阻尼计算方法，该方法为：将位于MEMS器件中心位置处的中心凸起表面压膜阻尼力与相同位置不含凸起结构时的压膜阻尼力相减，得到中心凸起对MEMS器件整体压膜阻尼造成的增量，用该增量近似表示平均每个凸起...
该专利属于西北工业大学宁波研究院所有，仅供学习研究参考，未经过西北工业大学宁波研究院授权不得商用。

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