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本发明公开了一种基于无监督学习的芯片缺陷检测方法及其评估方法，包括：1、训练数据预处理；2、构建无监督缺陷检测网络模型，包括修复性子网、鉴别性子网、模拟异常生成器和不确定度的可靠性评价；3、利用自动生成的芯片缺陷数据集对无监督缺陷检测网络模...
该专利属于合肥工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过合肥工业大学授权不得商用。

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