下载一种基于超表面的红外窄带热辐射光源的技术资料

文档序号:40272749

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本发明涉及光学器件领域,具体涉及一种基于超表面的红外窄带热辐射光源实现方法。所述的光源结构从上到下依次为密封层、超表面微阵列结构、绝缘层、金属加热层、复合介质支撑层、金属反射层和硅基衬底层。超表面结构由图案化的金属或介质微结构组成,表面覆盖...
该专利属于电子科技大学长三角研究院(湖州)所有,仅供学习研究参考,未经过电子科技大学长三角研究院(湖州)授权不得商用。

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