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本实用新型属于标准气体产生装置的设计。 本实用新型是在三通阀的下段设置一质量流量控制器，采用８０３１／８０３２单片微机技术，设置微机接口板用以控制恒温室温度和气体流量，从而实现计算机自动控制、测量、显示。 本实用新型由于气路部分...
该专利属于中国人民解放军第二炮兵第一研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国人民解放军第二炮兵第一研究所授权不得商用。

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