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在用于制备流通池的方法的一个示例中，将光敏材料沉积在树脂层上方，该树脂层包括由间隙区域分开的凹入部，其中该凹入部覆盖具有第一厚度的第一树脂部分，并且该间隙区域覆盖具有大于该第一厚度的第二厚度的第二树脂部分。基于该第一厚度和该第二厚度的预定紫...
该专利属于伊鲁米纳公司所有，仅供学习研究参考，未经过伊鲁米纳公司授权不得商用。

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