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本发明公开了一种碳化硅抛光装置和工艺，该装置包括抛光盘、载物块、LED紫外光源、石墨电极和电源，所述的抛光盘上表面设有抛光垫，所述的载样块工作面设有载体薄片，LED紫外光源正对抛光盘，石墨电极与载体薄片接触，载体薄片上方还设有抛光液输出管，...
该专利属于安徽微芯长江半导体材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽微芯长江半导体材料有限公司授权不得商用。

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