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本技术公开了一种晶圆拉膜机构，包含支撑架，支撑架上设有活动架，第一驱动组件驱动活动架在垂直晶圆所在平面的方向移动，活动架上设有一对滚轮和一对压块，滚轮与压块分别位于保护膜两侧，压块上设有凹槽，凹槽设于压块与滚轮相对的一侧，在压块与滚轮相互挤...
该专利属于上海铭沣科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海铭沣科技股份有限公司授权不得商用。

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