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一种微机械谐振器管芯(700，图7)，包括：微机械谐振器管芯层(例如，702、704、706、708)；空腔(712)，该空腔形成在微机械谐振器管芯层(例如，702、704、706、708)中的至少一个层中；以及微机械谐振器(710)，该微...
该专利属于德州仪器公司所有，仅供学习研究参考，未经过德州仪器公司授权不得商用。

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