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一种基于完美吸波器的太赫兹超材料温度传感器制造技术
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下载一种基于完美吸波器的太赫兹超材料温度传感器的技术资料
文档序号:40236046
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本技术公开了一种基于完美吸波器的太赫兹超材料温度传感器,温度传感器系统由太赫兹时域光谱仪、温度传感芯片、温度控制系统、成像器件和电脑构成。其中,温度传感芯片由金属图案层、锑化铟介质层、金属薄膜层、石英基底层组成。芯片基于超材料完美吸波器,金...
该专利属于中国计量大学所有,仅供学习研究参考,未经过中国计量大学授权不得商用。
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