下载一种单轴MEMS陀螺仪的技术资料

文档序号:40208837

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本发明涉及陀螺仪技术领域,公开一种单轴MEMS陀螺仪,包括:驱动锚点和驱动连接弹性件,驱动连接弹性件固定在驱动锚点上;两个驱动质量块,沿X轴方向分布;检测连接弹性件和四个检测质量块,每个检测质量块均通过检测连接弹性件与驱动质量块相连;耦合组...
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