下载一种用于改善单晶硅生产过程中坩埚鼓包的方法的技术资料

文档序号:40196229

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本发明公开了一种用于改善单晶硅生产过程中坩埚鼓包的方法,涉及单晶拉制领域,单晶拉制过程分为循环段和完结段,包括以下具体步骤:步骤1:拉制分段:首先将单晶的拉制过程的循环段分为单数段和双数段;在单晶拉制过程中会进行多段单晶的拉制,单数段和双数...
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