下载采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法的技术资料

文档序号:40195011

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本发明涉及采用真空条件下流量计配制标准混合气体的装置及方法,所述装置包括:微量气体取样管路,包括第一气瓶、第一阀门、第二阀门、第一真空室、第三阀门、第一高真空泵机组、第一真空计和第二真空计;其他气体取样管路,包括第二气瓶、第十一阀门、第九阀...
该专利属于北京东方计量测试研究所所有,仅供学习研究参考,未经过北京东方计量测试研究所授权不得商用。

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