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本发明提供以最短的距离移送已对准的晶圆而缩短工艺时间的对准缓冲装置及对准缓冲装置的控制方法，包括：主体部；对准部，形成于所述主体部的一部分，将由移送机械手移送的晶圆通过旋转对准至规定位置；缓冲部，形成于所述主体部的另一部分，以与所述对准部连...
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