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本申请属于半导体技术领域，揭示一种晶圆缺陷检测方法、装置、电子束扫描设备及存储介质，该方案在启动对待检晶圆的目标缺陷检测区域进行电子束扫描以后，获取待检晶圆的晶圆图像，并计算晶圆图像的图像锐度，基于晶圆图像的图像锐度，获得晶圆图像的锐度评估...
该专利属于深圳市昇维旭技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市昇维旭技术有限公司授权不得商用。

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