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本发明公开了一种基于YOLOv8改进的晶圆表面缺陷检测方法，包括以下步骤：对晶圆表面缺陷图像数据进行预处理和标注生成晶圆表面缺陷图像数据集；对晶圆表面缺陷图像数据集按设定比例分为训练集、验证集和测试集；引入ContextAggregatio...
该专利属于湘潭大学所有，仅供学习研究参考，未经过湘潭大学授权不得商用。

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