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本技术涉及芯片加工辅助装置技术领域,公开了一种阵列式多型腔芯片生产托盘,包括托板,所述托板上底部两侧固定连接支架,所述支架上转动连接有两个螺杆,所述两个所述螺杆的同一侧均固定连接有带轮,两个所述带轮之间连接有同步带,所述螺杆的两侧螺纹连接有...该专利属于深圳市金旺鑫半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市金旺鑫半导体科技有限公司授权不得商用。
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