温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及半导体工艺废气处理技术领域，公开了一种管道堵塞预警方法及系统。该方法包括：根据获取的时间序列与管道的实时压强得到实时压强与时间序列的实时变化曲线；根据实时变化曲线，得到实时变化曲线对应的拟合函数；根据拟合函数，得到拟合函数的一阶导...
该专利属于北京京仪自动化装备技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京京仪自动化装备技术股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。