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本技术提供一种复合集流体镀膜防反流装置，属于镀膜装置技术领域，包括：真空泵；与所述真空泵固定连接的连接器件；与所述连接器件可拆卸连接的真空管道：与所述真空管道可拆卸连接的T型管道；与所述T型管道可拆卸连接的蝶阀；与所述蝶阀可拆卸连接的管道；...
该专利属于扬州纳力新材料科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州纳力新材料科技有限公司授权不得商用。

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