温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种探针卡基板及其制备方法。所述方法包括：提供多层陶瓷基板，所述多层陶瓷基板包括相对的顶层和底层，所述顶层为第一过孔层，所述底层为第一焊盘层；在所述多层陶瓷基板的顶层制作与该层上过孔连接的焊盘，使过孔的直径扩大；提供氮化硅陶瓷片...
该专利属于强一半导体（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过强一半导体（上海）有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。