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本申请涉及一种选择性掺杂结构,所述选择性掺杂结构包括:硅片,所述硅片的一面的区域划分为接触区和非接触区;设置在所述硅片的一面的隧穿氧化层;设置在所述隧穿氧化层表面的磷掺杂多晶硅层,所述接触区的多晶硅的磷掺杂浓度高于所述非接触区;设置在所述接...该专利属于中环新能(安徽)先进电池制造有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过中环新能(安徽)先进电池制造有限公司授权不得商用。
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