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一种钕掺杂单晶金刚石及其制备方法技术
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文档序号:40152767
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本发明公开了一种钕掺杂单晶金刚石及其制备方法,依次使用混合酸溶液和混合碱溶液对金刚石表面进行清洗,得到金刚石(001)面;将清洗后的金刚石置入MPCVD设备中,通入氢气、甲烷和氮气,保持腔内生长温度为1000~1100℃,在金刚石(001)...
该专利属于西安交通大学所有,仅供学习研究参考,未经过西安交通大学授权不得商用。
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