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本发明提供一种多元难熔高熵合金氮化物薄膜及其制备方法，涉及表面工程领域。制备方法包括以下步骤：基体表面预处理；在预处理后的基体表面采用高功率脉冲磁控溅射法制备Ti过渡层；在Ti过渡层表面采用反应高功率脉冲磁控溅射法制备TiN中间层；在TiN...
该专利属于兰州空间技术物理研究所所有，仅供学习研究参考，未经过兰州空间技术物理研究所授权不得商用。

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