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晶体管的结构和制备方法技术
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文档序号:40150100
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本申请提供了一种晶体管的结构和制备方法,晶体管的结构包括:衬底;设置于衬底之上的第一绝缘层;依次设置于第一绝缘层之上的第一高K介电层、沟道层和第二高K介电层;设置于的第二高K介电层之上的源极、漏极和第一栅极,源极和漏极位于第一栅极的两侧,源...
该专利属于华为技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过华为技术有限公司授权不得商用。
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