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电子源、制备方法、芯片检测设备及芯片光刻设备。电子源包括：衬底层；设置于衬底层上的绝缘介质层；设置在绝缘介质层开槽内并与衬底层电接触的发射电极；设置于绝缘介质层上的提取电极；覆盖于提取电极上的第一膜层。第一膜层、开槽及衬底层围设形成微腔。第...
该专利属于华为技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华为技术有限公司授权不得商用。

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