下载Lamb波声学器件、传感器、微粒操控装置及操控方法的技术资料

文档序号:40149037

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本发明公开了一种Lamb波声学器件、传感器、微粒操控装置及操控方法。本发明的Lamb波声学器件包括超声激励组件和超声换能组件,超声换能组件包括有激发件和第一激励电极组,激发件上设置有相对的第一激励区域和第二激励区域,第一激励电极组包括第一电...
该专利属于中国科学院深圳先进技术研究院所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院深圳先进技术研究院授权不得商用。

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