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本发明公开一种声粒子速度传感器及其制备方法和检测方法，属于声学技术领域，声粒子速度传感器包括基底和柔性纤毛，所述柔性纤毛的根部连接在所述基底上，所述柔性纤毛的自由端不作约束，所述柔性纤毛上设置有PZT单元，所述PZT单元连接有上下电极，在外...
该专利属于北京航空航天大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京航空航天大学授权不得商用。

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