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本申请提供了一种通过主动加热以避免橡胶密封件低温失效的流体分布组件及相应的检漏或调理装置，流体分布组件包括：由导热材料制成的主体；连接于主体上侧并前后排列的至少一组流体出料嘴，每组流体出料嘴包括左右排列的至少一个流体出料嘴，流体出料嘴的顶端...
该专利属于武汉飞恩微电子有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过武汉飞恩微电子有限公司授权不得商用。

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