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本发明公开了一种背面出光石英衬底的薄膜铌酸锂光栅耦合器。该光栅耦合器自下而上包括石英衬底层、埋氧层、聚焦光栅层、包层和金属反射镜层，聚焦光栅层布设有衍射光栅区域，衍射光栅区域包括多个布置于同一半圆内的沿径向依次紧密连接的衍射单元，每个衍射单...
该专利属于浙江大学所有，仅供学习研究参考，未经过浙江大学授权不得商用。

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