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本发明涉及离子注入机领域，公开了一种用于带状离子束的质量分析磁铁系统，该系统共由一个四极聚焦磁铁、一个二极偏转磁铁和一个分析狭缝组成；其中四极聚焦磁铁对离子源引出的大尺寸、大散角离子束进行初始的长轴聚焦，短轴散焦；二极偏转磁铁产生高度均匀的...
该专利属于广东省新兴激光等离子体技术研究院所有，仅供学习研究参考，未经过广东省新兴激光等离子体技术研究院授权不得商用。

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