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本发明公开一种肖特基阴极制备方法，其采用增材制造技术对肖特基阴极结构进行成型，并且使用的粉体为在打印专用W粉中掺杂能够降低电级的电子势垒金属粉末的混合粉体，之后再对肖特基阴极结构件采用电解抛光法进行减径，且采用电化学腐蚀法制备针尖，形成肖特...
该专利属于广东省科学院半导体研究所所有，仅供学习研究参考，未经过广东省科学院半导体研究所授权不得商用。

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