下载一种肖特基阴极制备方法及肖特基阴极的技术资料

文档序号:40126903

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本发明公开一种肖特基阴极制备方法,其采用增材制造技术对肖特基阴极结构进行成型,并且使用的粉体为在打印专用W粉中掺杂能够降低电级的电子势垒金属粉末的混合粉体,之后再对肖特基阴极结构件采用电解抛光法进行减径,且采用电化学腐蚀法制备针尖,形成肖特...
该专利属于广东省科学院半导体研究所所有,仅供学习研究参考,未经过广东省科学院半导体研究所授权不得商用。

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