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一种流动气体气压自动调节装置，包括真空计和阀体，特点是：所述的阀体是一个微调阀体，该微调阀体的进气端有进气接头和微调进气阀，输气端有真空探测头，在所述的微调进气阀和真空探测头之间还有压电陶瓷阀，所述的真空探测头的信号输出端经第一电线接所述的...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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