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本申请涉及一种大面积等离子体放电结构及真空镀膜设备。大面积等离子体放电结构包括上电极模组和下电极模组，上电极模组与下电极模组间形成有镀膜电场，上电极模组包括背板、喷淋头及介质板，背板连接射频电源及用于通入工艺气体；喷淋头安装于所述背板，其背...
该专利属于苏州迈为科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州迈为科技股份有限公司授权不得商用。

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