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本发明公开了一种薄膜氢气传感器，其包括基底、用于检测氢气浓度的氢气测量单元、键合玻璃，所述氢气测量单元具有4个桥臂的惠斯通电桥结构，所述惠斯通电桥结构由多个电化学特性相同的氢敏电阻元件组成，每个桥臂上的氢敏电阻元件个数相同，其中两个相对的桥...
该专利属于苏州海卓赛思科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州海卓赛思科技有限公司授权不得商用。

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