下载一种激光剥蚀系统中气溶胶提取装置及方法的技术资料

文档序号:40103950

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本发明公开了一种气溶胶提取装置,包括与激光剥蚀池连通的不锈钢提取管,所述激光剥蚀池设置有真空度调节组件和真空度监测组件,所述不锈钢提取管与文丘里管连接,通过文丘里效应产生的低压提取气溶胶。摆脱了对昂贵氦气的依赖,激光与物质相互作用是在一个低...
该专利属于中国地质大学(武汉)所有,仅供学习研究参考,未经过中国地质大学(武汉)授权不得商用。

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