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本发明提供一种超表面增强半导体热电堆器件及其制备方法，所述热电堆器件包括多个级联的热电偶，每一对热电偶均包括热端和冷端，每一所述热端均由底面为多边形的薄膜叠层而成，所述薄膜叠层包括多组金属Al和SiO<subgt;2</subg...
该专利属于珠海矽敏科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过珠海矽敏科技有限公司授权不得商用。

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