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一种无弹性体层柔性静电式驻极体声电换能装置制造方法及图纸
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下载一种无弹性体层柔性静电式驻极体声电换能装置的技术资料
文档序号:40098103
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本技术公开了一种无弹性体层柔性静电式驻极体声电换能装置,属于能量转换器件领域,本技术的驻极体声电换能装置包括依次层叠设置的第一驻极体层、绝缘介电层和第二驻极体层,所述第一驻极体层和第二驻极体层均包括驻极体子层和沉积在所述驻极体子层上的金属导...
该专利属于华中科技大学所有,仅供学习研究参考,未经过华中科技大学授权不得商用。
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